超高純度 朗盛升級電子行業除氧用離子交換樹脂產品
來源：朗盛  2021年09月29日
    上海，2021年9月28日——特殊化學品公司朗盛升級了其用于電子行業除氧應用的Lewatit K 7333離子交換樹脂。現在，改進的聚合物基質與改性的配方相結合，可以生產出純度最高的摻鈀強堿性陰離子交換劑，該產品可用于生產半導體制造和晶圓拋光工藝所需的超純水（UPW）。在這一領域，只能使用經過特殊凈化的離子交換劑來生產純度極高的水。
    作為離子交換樹脂的領先制造商之一，朗盛致力于通過這種新型產品在電子行業獲得更多客戶，并鞏固其市場地位。
    面向開拓性應用升級成功產品
    近年來，離子交換劑已成功用于催化去除工藝水中的氧氣。“含氧水流經載有Lewatit K 7333的過濾器。在逆流中，氫氣通過過濾器。摻鈀離子交換劑在這里起到催化劑的作用。在‘冷燃燒’過程中，氫氣和氧氣反應生成水。”朗盛液體凈化技術（LPT）業務部技術營銷經理Hans-Jürgen Wedemeyer介紹道。
    Lewatit K 7333的另一個應用是在沒有氫氣的情況下催化去除H2O2（過氧化氫）。這項技術越來越多地用于生產超純水。以這種方式生產的質量更高的超純水目前的需求量比較大，因為對于半導體行業中越來越小的模塊間隔，殘留離子含量被限定在ppt/ppq范圍內。理想情況下，TOC（總有機碳）含量應處于檢測限。“隨著模塊的增強和完善，對水的純度要求越來越嚴格，這意味著大幅減少納米范圍內的顆粒數量越來越重要。”Wedemeyer說道。
    為了達到這些非常低的值，需要使用特殊的紫外燈。這種燈可以氧化水中的任何殘留有機物，產生CO2。然后，離子交換劑吸收CO2，將其轉化為碳酸氫鹽。紫外燈處理過程中的一個副作用是會形成過氧化氫（輻解），損壞下游的離子交換劑。這將增加TOC，并在下游離子交換劑中形成顆粒。摻鈀Lewatit K 7333可將輻解形成的過氧化氫降至低ppt范圍，離子交換劑本身只會造成非常小的TOC、顆粒或殘留離子污染。
    “這項技術已經用于許多新工廠，并且正在現有工廠中進行改進。因此，我們預計對Lewatit K 7333離子交換劑的需求量會增加，以便我們滿足半導體行業對水純度日益嚴格的要求。”Wedemeyer說道。
    電子行業濕化學法必不可少的物質——離子交換劑
    在微電子元件和納米電子元件生產中，對于光刻涉及的晶圓加工或復雜的濕化學法而言，超純水是不可或缺的成分。上述工藝用于制造半導體組件，例如計算機處理器、存儲芯片、發光二極管（LED）、液晶（LC）和LED顯示器以及光伏模塊。超純水還用于微系統技術，該技術用于制造和加工微泵、微電機和微閥所需的微型機械部件。超純水是防止或去除精密結構中小至納米級的沉積物或雜質的重要先決條件，這些物質如果不去除，會導致生產故障和極高的廢品率。“隨著電子元件的尺寸越來越小，對超純水的質量要求也在不斷提升。”Wedemeyer表示。
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